Microelectronics renrum är en speciell produktionsmiljö för att säkerställa produktkvalitet och effektivitet inom mikroelektronikindustrin. För detta projekt finns det många faktorer som beaktas såsom luftrening, temperatur, luftfuktighet, elektrostatisk och bruskontroll och så vidare.
Olika klasser av mikroelektronikindustrier för renrumstillämpning:
1.Tillverkning av integrerade kretsar
- ISO 1 - 3: används ofta i den mest avancerade processen med fotoetsning, etsning och andra, som kräver extremt hög kontroll av små partiklar, och en lätt förorening kan leda till spåndefekter.
- ISO 4 - 5: Lämplig för tunnfilmsavsättning, jonimplantation och andra processer vid chiptillverkning, och har även strikta krav på partikelkontroll.
2.Halvledarinkapslingstest
- ISO 6 - 7: Den kan uppfylla kraven för de flesta förpackningstestlänkar, såsom chipförpackning, funktionstest, etc.
3. Tillverkning av paneldisplayer
- ISO 5 - 6: Används vid beläggning och exponering av LCD-paneltillverkning.
4. Tillverkning av elektroniska komponenter
- ISO 7 - 8: används för tillverkning av elektroniska komponenter med relativt låga miljökrav, såsom motstånd, kondensatorer, etc.
Kort sagt, ju högre klass renrummet är, desto mindre är antalet suspenderade partiklar i luften som kan kontrolleras, desto renare miljö och desto mer lämpad för mikroelektroniska produktionsprocesser som kräver extremt stränga produktionsmiljöer. Det lägre klassens renrummet lämpar sig dock för produktionsprocesser som kräver relativt lös miljö.
Huvudenheter för luftreningssystem i mikroelektronik renrum:
1. Luftfilter
- Primärt effektivitetsfilter: används främst för att filtrera större partiklar, såsom damm, hår, etc., för att spela en preliminär roll i att rena luften.
- Mediumeffektiva filter: filtrerar medelstora partikelföroreningar och förbättrar luftens renhet ytterligare.
- HEPA-filter: nyckeln för att uppnå hög renhet med hög filtreringseffektivitet för partiklar över 0,3 mikron
- Ultrahögeffektivt filter (ULPA-filter): för 0.1 - 0.3 mikron partiklar kan dess filtreringseffektivitet vara över 99,999 %, och det används ofta på platser med extremt höga krav på renhet.
2. Fläkt
- Ansvarig för att driva luftflödet, få luften att passera genom filtret och cirkulera i renrummet.
3. Kanal
-används för att transportera filtrerad luft för att säkerställa jämn fördelning av luft till alla områden i renrummet.
4. Friskluftbehandlingsaggregat
- införa frisk luft utanför, filtrera den och justera temperatur och luftfuktighet för att möta behoven i renrummet.
5. Luftreningsenhet
-integrera en mängd olika renings- och konditioneringsfunktioner, såsom filtrering, sterilisering, avfuktning, befuktning och så vidare.
6. Statisk tryckkammare
-stabilisera luftflödet, minska turbulens och ljud från luftflödet, och säkerställer enhetligt luftflöde genom filter.
7. Ljuddämpare
- Minska buller som genereras av fläktar och luftflöde, vilket ger en tyst arbetsmiljö
8. Differenstrycksensorer och regulatorer
- Övervaka tryckskillnaden mellan olika områden i renrummet för att säkerställa att luften strömmar i en förutbestämd riktning för att förhindra korskontaminering av föroreningar.
Dessa enheter arbetar tillsammans för att säkerställa att luftkvaliteten i det mikroelektroniska renrummet når den erforderliga renhetsklassen.
Nyckelsteg och tekniska punkter för mikroelektronisk renrumsteknik:
1. Designplanering: enligt produktionsprocessen och kraven, bestämma renrumsklass, område, layout, etc. Samtidigt, flödesvägen för personal, material och utrustning, samt design av luftrening, luftkonditionering och belysningssystem bör övervägas.
2. Byggnadsstruktur: den bör ha bra tätnings- och värmeisoleringsprestanda för att minska påverkan av den yttre miljön på interiören. Samtidigt är det nödvändigt att använda material som inte är lätta att generera damm och statisk elektricitet, såsom rostfritt stål och aluminiumlegering.
3. Luftreningssystem: det är en central del av mikroelektronikens renrumsteknik. Vanligtvis används högeffektiva filter, fläktar, luftkanaler och andra apparater för att avlägsna damm, bakterier, virus och andra föroreningar i inomhusluften, så att luften når en viss renhetsnivå.
4. Luftkonditioneringssystem: det måste kunna styra inomhustemperatur, luftfuktighet och tryckskillnad för att uppfylla kraven i produktionsprocessen. Samtidigt bör energibesparande och miljövänlig luftkonditioneringsutrustning och teknik antas för att minska driftskostnaderna.
5. Elektrostatisk kontroll: produktionsprocessen för mikroelektronik är benägen att generera statisk elektricitet vilket kommer att påverka produktkvaliteten. Därför är det nödvändigt att vidta åtgärder för att eliminera statisk elektricitet, som att använda statiska eliminatorer, lägga antistatiska golv etc.
6. Bullerkontroll: Buller skulle påverka arbetseffektiviteten och personalens hälsa, så bullerkontrollåtgärder måste vidtas, såsom användning av ljudisoleringsmaterial, installation av ljuddämpare, etc.
7. Belysningssystem: det bör kunna ge tillräcklig ljusstyrka och enhetlighet för att uppfylla kraven i produktionsprocessen. Samtidigt bör energibesparande och miljövänlig belysningsutrustning och teknik antas för att minska driftskostnaderna.
8. Personal- och materialhantering: in- och utträde av personal och material ska hanteras och kontrolleras strikt för att minska införandet av externa föroreningar. Samtidigt bör personalen utbildas för att förbättra sin renlighetsmedvetenhet och operativa färdigheter.
9. Test och verifiering: efter att renrummet byggts bör test och verifiering utföras för att säkerställa att renrummets prestanda uppfyller designkraven, vilket inkluderar luftrenhet, temperatur, fuktighet, tryckskillnad, statisk elektricitet, etc.
Sammanfattningsvis är mikroelektronisk renrumsteknik ett komplext system som kräver flera faktorer. Endast genom att använda avancerad teknik och utrustning kan ett renrum som uppfyller kraven byggas.
Populära Taggar: mikroelektronik renrum, Kina mikroelektronik renrum leverantörer, tillverkare, fabrik, Rent rum luftrening, Rengöring av rum drycksutrustningsproduktion, rent rumsfack, rena rumsbehållare, ren rum industriell miljö, rena rumssystem
